专利详情

专利名称	一种HVPE反应产生的氯化铵气体的冷凝过滤器
申请号	CN201520830095.X	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN205055478U	公开（授权）日	2016.03.02
申请（专利权）人	中国科学院金属研究所	发明（设计）人	姜辛;刘宝丹;刘鲁生;张兴来
主分类号	B01D5/00(2006.01)I	IPC主分类号	B01D5/00(2006.01)I;B01D46/00(2006.01)I
专利有效期	一种HVPE反应产生的氯化铵气体的冷凝过滤器至一种HVPE反应产生的氯化铵气体的冷凝过滤器	法律状态
说明书摘要	本实用新型涉及使用氢化物外延生长CaN薄膜领域，尤其涉及一种HVPE反应产生的氯化铵气体的冷凝过滤器。该冷凝过滤器的壳体上配有进气管路和出气管路，上盖上配有导流板和滤芯上密封法兰，滤芯下密封法兰固定在出气管路上，水套上配有冷却水入口和冷却水出口；壳体内设有滤芯，滤芯位于滤芯上密封法兰和滤芯下密封法兰之间；水套位于壳体的外侧，导流板位于滤芯的外侧。经本实用新型冷凝过滤器后，HVPE装置反应产生的氯化铵气体先被冷凝成氯化铵颗粒，然后被滤芯过滤出来沉积在过滤器底部，保证氯化铵气体在进入真空干泵之前就冷凝过滤下来，从而保护了真空干泵和大气环境。