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一种高能紫外光学镜片测量装置

  • 申请号:CN201520420745.3
  • 专利类型:实用新型
  • 申请(专利权)人:中国科学院光电研究院
  • 公开(公开)号:CN205049317U
  • 公开(公开)日:2016.02.24
  • 法律状态:
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种高能紫外光学镜片测量装置
申请号 CN201520420745.3 专利类型 实用新型
公开(公告)号 CN205049317U 公开(授权)日 2016.02.24
申请(专利权)人 中国科学院光电研究院 发明(设计)人 范元媛;周翊;宋兴亮;王倩;张立佳;单耀莹;蔡茜玮;彭卓君;王宇
主分类号 G01M11/02(2006.01)I IPC主分类号 G01M11/02(2006.01)I;G01N21/59(2006.01)I
专利有效期 一种高能紫外光学镜片测量装置 至一种高能紫外光学镜片测量装置 法律状态
说明书摘要 本实用新型公开了一种高能紫外光学镜片测量装置,装置的激光光源(1)产生高能紫外脉冲激光,反射光栅(6)接收该脉冲激光,并将该脉冲激光进行衍射分束,取其中能量最强的一级作为测量光,能量次强的一级作为参考光,待测镜片(3)放置于测量光的光路上;第一能量探测器(4)用于探测参考光的能量;第二能量探测器(5)用于探测测量光的能量。本实用新型的方法通过测量放入和未放入待测镜片时的各能量探测器的读数,并计算得到其透过率。本实用新型消除了激光光源能量抖动以及分光片导致分光比抖动对光学镜片透过率测量的影响,对待测镜片的厚度和尺寸无要求,能够实现精确且方便的测量。

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