专利详情

专利名称	光刻机投影物镜偏振像差原位检测方法
申请号	CN201510777170.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105319869A	公开（授权）日	2016.02.10
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	沈丽娜;王向朝;李思坤;闫观勇;诸波尔;张恒;孟泽江
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	光刻机投影物镜偏振像差原位检测方法至光刻机投影物镜偏振像差原位检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种光刻机投影物镜偏振像差原位检测方法，该方法使用的检测系统包括光源、照明系统、掩模台、包含检测标记的掩模、投影物镜、工件台、像传感器、用于掩模台与工件台的定位系统、数据处理系统及反馈控制系统。本发明采用偏振像差的泡利-泽尼克表征方法，结合两种线性偏振照明方式，利用像传感器测量检测标记空间像的成像位置偏移量与最佳焦面偏移量，根据标定的偏振像差灵敏度系数计算投影物镜的偏振像差。本发明具有检测过程简单、快速和像差检测的精度高的特点，适用于大数值孔径和超大数值孔径投影物镜偏振像差检测。