专利详情

专利名称	一种二氧化碳气体超微流速控制系统
申请号	CN201520666277.8	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN205015767U	公开（授权）日	2016.02.03
申请（专利权）人	中国科学院地球环境研究所	发明（设计）人	付云翀;程鹏;杜花;刘起;黄春海
主分类号	G05D27/00(2006.01)I	IPC主分类号	G05D27/00(2006.01)I
专利有效期	一种二氧化碳气体超微流速控制系统至一种二氧化碳气体超微流速控制系统	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种二氧化碳气体超微流速控制系统，包括单向阀、离子源与质量流量计，其中所述单向阀的进口处设有二氧化碳进气管，单向阀的出口处设有第一三通阀，所述质量流量计与第一三通阀的另一侧相连，质量流量计的另一侧设有氦气进气管，第一三通阀的最后一侧设有精确控温冷阱，精确控温冷阱包括冷阱与液氮保温箱，其中冷阱位于液氮保温箱内，精确控温冷阱的另一侧设有第二三通阀，第二三通阀的另外两侧分别设有真空系统与所述离子源。本实用新型是一种控制二氧化碳流速控制系统，本实用新型主要是保证本二氧化碳处于低温环境下，使得二氧化碳蒸汽压极低且可控，从而控制其流速达到超微流速。