晶硅制绒槽
- 申请号：CN201520662516.2
- 专利类型：实用新型
- 申请（专利权）人：中国科学院物理研究所
- 公开(公开)号：CN205004346U
- 公开(公开)日：2016.01.27
- 法律状态：专利实施许可合同备案的生效、变更及注销
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专利详情
| 专利名称 | 晶硅制绒槽 | ||
| 申请号 | CN201520662516.2 | 专利类型 | 实用新型 |
| 公开（公告）号 | CN205004346U | 公开（授权）日 | 2016.01.27 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院物理研究所 | 发明（设计）人 | 刘尧平;陈伟;杨丽霞;杜小龙 |
| 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 专利有效期 | 晶硅制绒槽 至晶硅制绒槽 | 法律状态 | 专利实施许可合同备案的生效、变更及注销 |
| 说明书摘要 | 本实用新型提供了一种晶硅制绒槽，包括沿所述晶硅的操作方向依次排列的金属催化刻蚀槽、残余金属清洗槽、二次清洗槽和干燥预处理槽。本实用新型的晶硅制绒槽成本低、通用性好，能用于单晶硅和多晶硅的制绒工艺中。 | ||
交易流程
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01
选取所需
专利 -
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确认专利
可交易 - 03 签订合同
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成功 - 06 支付尾款
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过户资料
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