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双色探测器

  • 申请号:CN201410328394.3
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
  • 公开(公开)号:CN105280748A
  • 公开(公开)日:2016.01.27
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 双色探测器
申请号 CN201410328394.3 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN105280748A 公开(授权)日 2016.01.27
申请(专利权)人 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 发明(设计)人 付凯;刘翌寒;高华杰;张宝顺
主分类号 H01L31/09(2006.01)I IPC主分类号 H01L31/09(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/0304(2006.01)I
专利有效期 双色探测器 至双色探测器 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明公开了一种双色探测器,其特征在于,所述双色探测器采用纵向集成结构,自下而上依次包括衬底、铝镓氮材料层、金属叉指电极、绝缘介质层、石墨烯材料层以及金属电极。该探测器中两种波段的探测器件具有自下而上的集成结构,减小了器件尺寸,降低了制备工艺和探测系统的复杂性。

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