双色探测器
- 申请号:CN201410328394.3
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 公开(公开)号:CN105280748A
- 公开(公开)日:2016.01.27
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 双色探测器 | ||
| 申请号 | CN201410328394.3 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开(公告)号 | CN105280748A | 公开(授权)日 | 2016.01.27 |
| 申请(专利权)人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 发明(设计)人 | 付凯;刘翌寒;高华杰;张宝顺 |
| 主分类号 | H01L31/09(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/09(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/0304(2006.01)I |
| 专利有效期 | 双色探测器 至双色探测器 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明公开了一种双色探测器,其特征在于,所述双色探测器采用纵向集成结构,自下而上依次包括衬底、铝镓氮材料层、金属叉指电极、绝缘介质层、石墨烯材料层以及金属电极。该探测器中两种波段的探测器件具有自下而上的集成结构,减小了器件尺寸,降低了制备工艺和探测系统的复杂性。 | ||
交易流程
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专利 -
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