专利详情

专利名称	一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法
申请号	CN201510713929.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105271361A	公开（授权）日	2016.01.27
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所;上海应用技术学院	发明（设计）人	陈滢;许鹏程;李昕欣;徐涛;郑丹
主分类号	C01G9/02(2006.01)I	IPC主分类号	C01G9/02(2006.01)I;B82Y30/00(2011.01)I;B82Y40/00(2011.01)I
专利有效期	一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法至一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法，包括以下步骤：1）清洗基底表面；2）采用原子层沉积工艺在基底表面沉积一层氧化锌种子层；3）在基底上采用水热法生长氧化锌纳米线阵列；4）再将基底清洗并干燥后，形成棒状氧化锌纳米线阵列；5）采用原子层沉积工艺在基底表面再沉积一层氧化锌种子层；6）重复步骤3）-4），形成树枝状的氧化锌纳米线阵列。本发明提供的一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法，制备温度低，纳米树枝结构均匀性好、致密性好，适用于非平面或具备复杂结构的基底，简单可行。