专利详情

专利名称	一种宽响应谱的太赫兹量子阱光电探测器及其制备方法
申请号	CN201510755793.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105244391A	公开（授权）日	2016.01.13
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	张戎;曹俊诚;邵棣祥
主分类号	H01L31/0352(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/0352(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I
专利有效期	一种宽响应谱的太赫兹量子阱光电探测器及其制备方法至一种宽响应谱的太赫兹量子阱光电探测器及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种宽响应谱的太赫兹量子阱光电探测器及其制备方法，所述宽响应谱的太赫兹量子阱光电探测器包括：衬底、下电接触层、第一多量子阱层、中电接触层、第二多量子阱层以及上电接触层。本发明具有以下有益效果：本发明的太赫兹量子阱光电探测器具有非常宽的响应谱，单个器件即可有效覆盖1.5~8THz频率范围，半高宽达2.84THz，比现有普通太赫兹量子阱光电探测器提升约89%。本发明结构和制作方法简单，效果显著，在半导体光电器件技术领域具有广泛的应用前景。