专利详情

专利名称	共振隧穿二极管近红外探测器
申请号	CN201510547194.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105244407A	公开（授权）日	2016.01.13
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	裴康明;倪海桥;詹锋;董宇;牛智川
主分类号	H01L31/11(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/11(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I
专利有效期	共振隧穿二极管近红外探测器至共振隧穿二极管近红外探测器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种共振隧穿二极管近红外探测器，包括：一衬底；一集电区接触层，其制作在衬底上，集电区接触层一侧的上面形成一台面；一集电区，其制作在集电区接触层上台面的一侧，该集电区为圆形；一吸收层，其制作在集电区上；一空穴堆积层，其制作在吸收层上，其直径小于吸收层的直径；一双势垒结构，其制作在空穴堆积层上；一隔离层，其制作在双势垒结构上；一发射区，其制作在隔离层上；一上电极，其制作在集电区上；一下电极，其制作在集电区接触层一侧的台面上。本发明可以降低探测器暗电流及提高探测器的灵敏度。