专利详情

专利名称	抽取清洗残余废气的气嘴结构
申请号	CN201510628671.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105215008A	公开（授权）日	2016.01.06
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	张志研;林学春;王奕博;于海娟;刘燕楠;梁浩;高文焱;林康
主分类号	B08B7/00(2006.01)I	IPC主分类号	B08B7/00(2006.01)I;B08B15/04(2006.01)I;B21B45/06(2006.01)I
专利有效期	抽取清洗残余废气的气嘴结构至抽取清洗残余废气的气嘴结构	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种抽取清洗残余废气的气嘴结构，包括：一外抽气罩，该外抽气罩为圆管形结构，一端为一喇叭形，该外抽气罩的侧壁上开有多个小孔；一内吹气罩，位于外抽气罩内，该内吹气罩为圆柱形，在圆柱形的侧壁相对两侧斜向形成一平面，使其一端形成一矩形平面，在内吹气罩的另一端开有圆孔，该圆孔按照两侧斜向的角度收缩成一矩形开口；其中该外抽气罩和内吹气罩同轴设置，该内吹气罩的矩形开口向外吹气，该气体与外抽气罩的多个小孔形成气体回路。本发明具有结构简单，使用方便的优点，尤其在狭小的空间进行清洗时，侧边抽气结构能够将粉尘最大效率的抽取干净。