专利详情

专利名称	一种准分子激光器的光谱控制装置
申请号	CN201520518409.2	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204927797U	公开（授权）日	2015.12.30
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	赵江山;单耀莹;李慧;沙鹏飞;宋兴亮;王倩;蔡茜玮
主分类号	H01S3/10(2006.01)I	IPC主分类号	H01S3/10(2006.01)I
专利有效期	一种准分子激光器的光谱控制装置至一种准分子激光器的光谱控制装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型是关于一种应用于主振荡功率放大双腔结构的准分子激光器的光谱控制装置,其包括两级线宽压窄模块,其中第一级线宽压窄模块与输出耦合装置作为两个端镜分别设置于激光放电腔的两端,并与输出耦合装置及激光放电腔构成准分子激光器的主振荡谐振腔,形成具有一定输出能量及第一级线宽压窄的激光输出；第二级线宽压窄模块设置于准分子激光器的主振荡谐振腔与能量放大腔之间的传输光路中,对主振荡谐振腔输出的具有一定输出能量及第一级线宽压窄的激光进行线宽调制形成具有第二级线宽压窄的激光输出。本实用新型可以有效解决现有单一光谱控制装置光谱控制自由度低、光谱调谐难度大、光谱调谐灵活性差、光学元件损伤几率较高等问题。