专利详情

专利名称	一种材料分压放气率测试器
申请号	CN201520527517.6	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204924843U	公开（授权）日	2015.12.30
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	张罗莎;王魁波;吴晓斌;罗艳;陈进新;谢婉露;王宇
主分类号	G01N7/14(2006.01)I	IPC主分类号	G01N7/14(2006.01)I
专利有效期	一种材料分压放气率测试器至一种材料分压放气率测试器	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种材料分压放气率测试器，包括一个测量室、一个真空泵组和一个限流小孔；真空泵组通过插板阀与测量室连接，限流小孔的前端通过角阀与测量室连接，后端直接与真空泵组连接；通过四极质谱仪和分离规，分别测量测量室为空和包含样品时的不同种气体的本底分压强和本底氮气当量总压强，进而得到样品氮气当量的分压放气率。本实用新型只需一个四极质谱计就能完成材料分压放气率的实时、连续测量，减小测量过程中由于测量腔内随真空材料放气产生的压升所带来的气体二次吸附机会，并能方便不同成分气体的横向对比。