专利详情

专利名称	适用于大规模制备氧化锌纳米线阵列的部件及装置
申请号	CN201520604851.7	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204874727U	公开（授权）日	2015.12.16
申请（专利权）人	中国科学院重庆绿色智能技术研究院	发明（设计）人	詹兆尧;徐利平;陆文强;沈俊;李昕;王亮;李奇昆;何培培
主分类号	C23C16/40(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/40(2006.01)I;C30B25/02(2006.01)I;C30B29/16(2006.01)I;C30B29/60(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I
专利有效期	适用于大规模制备氧化锌纳米线阵列的部件及装置至适用于大规模制备氧化锌纳米线阵列的部件及装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型提供一种适用于大规模制备氧化锌纳米线阵列的部件及装置，应用于纳米线制备技术领域，所述部件包括至少包括一硅衬底和供盛放化学反应物的舟，所述硅衬底任一端面上制备有一粗糙表面，且所述硅衬底制备有粗糙表面的一面朝向供盛放化学反应物的舟进行放置；而所述装置则包括一真空管式炉和所述部件，所述部件放置于真空管式炉内。利用本实用新型提供的部件和装置来进行纳米线阵列制备时，既不需要在硅衬底上镀金属催化剂，不需要沉积氧化锌籽晶层，也不需要用光刻和刻蚀来制备沟槽结构，而直接在硅衬底上大规模长出高密度的氧化锌纳米线，从而简化了制备工序，并实现大规模氧化锌纳米线的制备。