专利详情

专利名称	具有非对称后退阱和背栅的SOI器件
申请号	CN201520575137.X	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204905262U	公开（授权）日	2015.12.23
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	朱慧珑;张严波;钟健
主分类号	H01L29/78(2006.01)I	IPC主分类号	H01L29/78(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I;H01L29/66(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I
专利有效期	具有非对称后退阱和背栅的SOI器件至具有非对称后退阱和背栅的SOI器件	法律状态
说明书摘要	提供了一种具有非对称后退阱和背栅的SOI器件。一示例器件可以包括：SOI衬底，包括基底衬底、埋入绝缘层和SOI层；在SOI衬底上形成的半导体器件，包括位于SOI层中的源区和漏区以及位于源区和漏区之间的沟道区；在SOI层中形成的位于沟道区下方的后退阱，其中后退阱偏向源区或漏区一侧；以及在基底衬底中形成的背栅，其中，背栅与后退阱电耦合。根据本公开的实施例，可以在SOI衬底中形成非对称RW。利用这种RW，可以在沟道区形成较薄的耗尽层，尽管SOI层可能较厚。