专利详情

专利名称	使用二次离子质谱仪分析气体样品的系统和方法
申请号	CN201380021677.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105103265A	公开（授权）日	2015.11.25
申请（专利权）人	中国科学院地质与地球物理研究所	发明（设计）人	唐国强;赵洪;李献华;李秋立;刘宇
主分类号	H01J49/04(2006.01)I	IPC主分类号	H01J49/04(2006.01)I;H01J49/26(2006.01)I;G01N27/62(2006.01)I
专利有效期	使用二次离子质谱仪分析气体样品的系统和方法至使用二次离子质谱仪分析气体样品的系统和方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种使用二次离子质谱仪分析气体样品的系统和方法，该系统包括：引出极、金属板和气体引入导管；所述引出极和所述金属板位于所述二次离子质谱仪的样品室内，所述引出极上设有用于通过一次离子的第一通孔、用于通过二次离子的第二通孔、以及用于穿过所述气体引入导管的第三通孔；所述气体引入导管穿过所述第三通孔后将所述气体样品引导至所述金属板的表面，所述气体样品在所述一次离子的轰击下形成所述二次离子；所述引出极和所述金属板之间形成电场，以使所述二次离子通过所述第二通孔飞离所述金属板进入所述二次离子质谱仪进行质量分析。