一种晶体切割方法
- 申请号:CN201410187536.9
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院理化技术研究所
- 公开(公开)号:CN105082375A
- 公开(公开)日:2015.11.25
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种晶体切割方法 | ||
| 申请号 | CN201410187536.9 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开(公告)号 | CN105082375A | 公开(授权)日 | 2015.11.25 |
| 申请(专利权)人 | 中国科学院理化技术研究所 | 发明(设计)人 | 涂衡;胡章贵;岳银超;赵营 |
| 主分类号 | B28D5/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B28D5/00(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种晶体切割方法 至一种晶体切割方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明提供了一种晶体切割方法,利用三维扫描仪对待切割的晶体进行接触式或非接触式扫描测量,获得晶体各个晶面尺寸信息;再将其输入solidworks软件进行编辑,在软件中对晶体进行模拟切割,获知切割后的器件的准确数据,与所需器件数据比对,直到能切割出符合要求的器件为止,依此再对晶体进行切割。采用本发明的方法可实现在晶体切割前对切割方案进行模拟,以实现精确切割,提高晶体的利用率,尤其在大尺寸器件切割中,能最大化利用晶体。与传统生长方法相比,具有利用率高、切割精度高、降低成本消耗等优点。 | ||
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