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一种晶体切割方法

  • 申请号:CN201410187536.9
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院理化技术研究所
  • 公开(公开)号:CN105082375A
  • 公开(公开)日:2015.11.25
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种晶体切割方法
申请号 CN201410187536.9 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN105082375A 公开(授权)日 2015.11.25
申请(专利权)人 中国科学院理化技术研究所 发明(设计)人 涂衡;胡章贵;岳银超;赵营
主分类号 B28D5/00(2006.01)I IPC主分类号 B28D5/00(2006.01)I
专利有效期 一种晶体切割方法 至一种晶体切割方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明提供了一种晶体切割方法,利用三维扫描仪对待切割的晶体进行接触式或非接触式扫描测量,获得晶体各个晶面尺寸信息;再将其输入solidworks软件进行编辑,在软件中对晶体进行模拟切割,获知切割后的器件的准确数据,与所需器件数据比对,直到能切割出符合要求的器件为止,依此再对晶体进行切割。采用本发明的方法可实现在晶体切割前对切割方案进行模拟,以实现精确切割,提高晶体的利用率,尤其在大尺寸器件切割中,能最大化利用晶体。与传统生长方法相比,具有利用率高、切割精度高、降低成本消耗等优点。

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