
离子束抛光设备
- 申请号:CN201520408818.7
- 专利类型:实用新型
- 申请(专利权)人:中国科学技术大学
- 公开(公开)号:CN204771859U
- 公开(公开)日:2015.11.18
- 法律状态:
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专利详情
专利名称 | 离子束抛光设备 | ||
申请号 | CN201520408818.7 | 专利类型 | 实用新型 |
公开(公告)号 | CN204771859U | 公开(授权)日 | 2015.11.18 |
申请(专利权)人 | 中国科学技术大学 | 发明(设计)人 | 吴丽翔;邱克强;曾思为;付绍军 |
主分类号 | B24B1/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B24B1/00(2006.01)I |
专利有效期 | 离子束抛光设备 至离子束抛光设备 | 法律状态 | |
说明书摘要 | 本实用新型提供了一种离子束抛光设备。该离子束抛光设备包括:工件台、离子束发生器和运动控制系统。其中,工件放置于工件台上,离子束发生器发出形状和大小实时可控的离子束束斑;运动控制系统驱动工件台和/或离子束发生器运动,离子束束斑在工件表面移动,实现对工件的抛光。本实用新型中,离子束束斑的形状和大小均可控,从而提高了离子束抛光设备的可控性和控制精度。 |
交易流程
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选取所需
专利 -
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确认专利
可交易 - 03 签订合同
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过户资料
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