专利详情

专利名称	半导体薄膜材料的实时质量检测系统
申请号	CN201520385321.8	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204789334U	公开（授权）日	2015.11.18
申请（专利权）人	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	发明（设计）人	李宝吉;卢建娅;杨文献;陆书龙
主分类号	G01N21/63(2006.01)I	IPC主分类号	G01N21/63(2006.01)I
专利有效期	半导体薄膜材料的实时质量检测系统至半导体薄膜材料的实时质量检测系统	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种半导体薄膜材料的实时质量检测系统，其主要利用半导体薄膜材料的发光原理检测材料的内部缺陷、带隙结构以及组分均匀性等材料特点。该检测系统包括：激光光源系统，用以提供设定波长的激光光束照射待检测半导体薄膜；光信号接收系统，包括：光信号接收装置，用以采集待检测薄膜被所述激光光束激发而发出的激发光线，并输出对应检测信号，以及，信号显示处理装置，用以接收、处理和显示该检测信号；该光信号接收装置与信号显示处理装置连接。本实用新型结构简单，易于操作，并可以实时在线进行常温发光半导体材料的质量检测，进而可以通过检测结果而适时调节生长条件并获得目标半导体材料，且在一定程度上降低生长所需成本。