专利详情

专利名称	一种微孔衍射波前质量的测量装置
申请号	CN201520337327.8	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204788651U	公开（授权）日	2015.11.18
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	卢增雄;梅东滨;齐月静;孟庆宾;刘广义;齐威;苏佳妮;周翊;王宇
主分类号	G01J1/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01J1/00(2006.01)I;G01J9/00(2006.01)I
专利有效期	一种微孔衍射波前质量的测量装置至一种微孔衍射波前质量的测量装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型是关于一种微孔衍射波前质量的测量装置，是采用夏克-哈特曼波前传感器法进行微孔衍射波前质量的测量。其通过高精度平面参考波前实现夏克-哈特曼波前传感器的高精度标定，再根据高精度系统误差的标定结果进行微孔衍射波前形状的精确测量，将微孔衍射波前形状与最佳参考球比较便可求得微孔衍射波前的偏差，只需要在标定装置的基础上直接加入聚焦物镜和微孔，便可实现微孔衍射波前质量的测量，操作简便，引入的系统误差较小且容易实现系统误差的高精度标定。其中微孔板引入的球差可通过聚焦物镜进行补偿，并且通过调整夏克-哈特曼波前传感器到微孔的距离便可实现不同数值孔径大小的衍射波前质量的快速高精度的测量。