专利详情

专利名称	一种阴极电弧源
申请号	CN201520486173.9	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204779785U	公开（授权）日	2015.11.18
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	陈仁德;汪爱英;张栋;柯培玲;王丽
主分类号	C23C14/32(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/32(2006.01)I
专利有效期	一种阴极电弧源至一种阴极电弧源	法律状态
说明书摘要	本实用新型所提供的阴极电弧源，包括阴极底座，所述阴极底座的内侧壁上螺纹连接有永磁块，外侧壁上通过螺丝固定有法兰板，且所述法兰板在阴极底座的外侧接装有阳极筒，其中所述阴极底座与法兰板、以及阳极筒之间相互绝缘设置；所述阳极筒在背离所述法兰板的一侧装配有连接柱，并通过该连接柱接装有阳极罩；所述阴极底座上开设有水冷内腔，并在该水冷内腔的顶壁上通过卡环连接件卡接有靶材，且所述靶材贴合于阴极底座中水冷内腔的顶壁设置；所述顶壁设为具有弹性的隔膜板，并可在水冷内腔水压的作用下发生形变以贴合靶材。本实用新型确保了该阴极电弧源在使用过程中对靶材的充分冷却；同时也便于对靶材的更换，提高工作效率。