专利详情

专利名称	一种用于极紫外辐照材料测试设备的抽真空系统
申请号	CN201520104669.5	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204758456U	公开（授权）日	2015.11.11
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	陈进新;王宇;吴晓斌;谢婉露;王魁波;崔惠绒
主分类号	G01N17/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01N17/00(2006.01)I
专利有效期	一种用于极紫外辐照材料测试设备的抽真空系统至一种用于极紫外辐照材料测试设备的抽真空系统	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种用于极紫外辐照材料测试设备的抽真空系统，测试设备包括EUV光源腔室(A)、收集镜腔室(B)和样品腔室(C)，真空获得装置包括分别连接到各腔室的真空泵单元和真空计单元、连接于腔室之间的第一、第二插板阀(A3、B3)、连通第一、第二插板阀(A3、B3)的第一、第二气源(A4、B4)，以及通过阀门与收集镜腔室(B)的真空泵单元(B1)相连的气体分析单元(C5)。本实用新型能够对测试设备的各部分进行抽真空，有效阻止污染物由EUV光源腔室和样品腔室向收集镜腔室扩散，并且在真空压力不匹配的情况下能够测得样品腔室中的气体组分及分压。