一种硅基阵列微反应池数字PCR芯片及其制备方法
- 申请号：CN201510338390.8
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院半导体研究所
- 公开(公开)号：CN105039153A
- 公开(公开)日：2015.11.11
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种硅基阵列微反应池数字PCR芯片及其制备方法 | ||
| 申请号 | CN201510338390.8 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN105039153A | 公开（授权）日 | 2015.11.11 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 俞育德;魏清泉;刘勇;李钊;孙英男;刘文文;蒋莉娟 |
| 主分类号 | C12M1/38(2006.01)I | IPC主分类号 | C12M1/38(2006.01)I;C12M1/00(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种硅基阵列微反应池数字PCR芯片及其制备方法 至一种硅基阵列微反应池数字PCR芯片及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明属于PCR技术领域，具体涉及一种硅基阵列微反应池数字PCR芯片及其制备方法。该芯片主要包括上盖和芯片，其中在芯片上有蜂窝状排列的微孔，上盖固定于芯片槽上。具体步骤为选择一单面抛光的硅片，清洗，在硅片抛光面上旋涂一层均匀的光刻胶，通过曝光形成圆形的图形阵列，在圆形的图形阵列掩膜下干法刻蚀硅，形成微孔结构，去胶划片，完成芯片制备。 | ||
交易流程
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