专利详情

专利名称	具有半波带结构的极紫外光源收集镜的制作方法
申请号	CN201510415398.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105022235A	公开（授权）日	2015.11.04
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	姚舜;喻波;金春水
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	具有半波带结构的极紫外光源收集镜的制作方法至具有半波带结构的极紫外光源收集镜的制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	具有半波带结构的极紫外光源收集镜的制作方法，涉及极紫外光源收集镜领域，解决了现有方法存在的成本高，同时还会引入不必要的图案误差的问题。该方法包括：基底清洗、涂胶、曝光、烤版、显影、刻蚀、去胶、镀膜；曝光时，沿光轴依次设置曝光光源、扩束器、光源收集镜、曲面半反半透镜和曲面反射镜，曲面半反半透镜和曲面反射镜的焦点分别与光源收集镜的椭球面所在椭球的两个焦点重合，光源收集镜的椭球面所在椭球的焦距等于曝光光源输出的激光波长四分之一的奇数倍；通过两相干点光源干涉在光源收集镜的椭球面上形成干涉条纹，使涂层感光来完成曝光。本发明工艺简单，成本低，没有掩模板制作引入的误差，提高了半波带结构的光谱纯化效率。