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一种在碳化硅衬底上生长P型石墨烯的方法

  • 申请号:CN201410171889.X
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院物理研究所
  • 公开(公开)号:CN105016328A
  • 公开(公开)日:2015.11.04
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种在碳化硅衬底上生长P型石墨烯的方法
申请号 CN201410171889.X 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN105016328A 公开(授权)日 2015.11.04
申请(专利权)人 中国科学院物理研究所 发明(设计)人 郭鈺;陈小龙;郭丽伟;芦伟;贾玉萍
主分类号 C01B31/04(2006.01)I IPC主分类号 C01B31/04(2006.01)I
专利有效期 一种在碳化硅衬底上生长P型石墨烯的方法 至一种在碳化硅衬底上生长P型石墨烯的方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明提供一种生长P型石墨烯的方法,包括:1)在含氮气氛中对SiC衬底进行退火,以在所述SiC衬底的表面吸附氮原子;2)采用SiC高温热分解法,在所述SiC衬底的所述表面生长石墨烯。

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