专利详情

专利名称	一种离子源快接可伸缩水冷型朗缪尔双探针
申请号	CN201520338048.3	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204721702U	公开（授权）日	2015.10.21
申请（专利权）人	中国科学院等离子体物理研究所	发明（设计）人	顾玉明;胡纯栋;谢亚红;谢远来;李军;杨思皓;邑伟
主分类号	H05H1/00(2006.01)I	IPC主分类号	H05H1/00(2006.01)I
专利有效期	一种离子源快接可伸缩水冷型朗缪尔双探针至一种离子源快接可伸缩水冷型朗缪尔双探针	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种离子源快接可伸缩水冷型朗缪尔双探针，包括有探针芯、探针管、法兰座、陶瓷座，探针管的一端与法兰座钎焊在一起，探针管的该端还钎焊有冷却水进、出水管，探针芯和陶瓷座焊接在一起，陶瓷座螺纹固定在探针管上，探针管内开设有与冷却水进、出水管相通的冷却水水槽，探针管中内置两根铁氟龙导线，法兰座上通过卡箍和密封圈密封固定有两个法兰电极，两法兰电极的一端伸入至探针管与两铁氟龙导线连接，两铁氟龙导线的另一端与探针芯连接。本实用新型可以满足需要离子源朗缪尔双探针自由伸缩长度、方便拆卸且具有自冷却功能的要求，且结构简单安装方便。