专利详情

专利名称	防酸、碱腐蚀的保护罩及其使用方法
申请号	CN201510270786.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104986721A	公开（授权）日	2015.10.21
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	柳瑞丛;刘媛媛
主分类号	B81C1/00(2006.01)I	IPC主分类号	B81C1/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I
专利有效期	防酸、碱腐蚀的保护罩及其使用方法至防酸、碱腐蚀的保护罩及其使用方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种保护硅片单面图形不受到湿法腐蚀影响的保护罩及其使用方法。保护罩采用顶板和底板将需要图形保护的芯片夹在中间，项板和底板之间通过紧固螺钉来密封连接；顶板、底板和芯片之间分别放置橡胶圈，通过橡胶圈的压缩形变来实现密封；底板中心有一圆形通孔，腐蚀液通过此通孔腐蚀芯片背面；密封的上盖板中心有一圆形凹槽，凹槽内注水，以防腐蚀液渗入胶圈内侧直接腐蚀硅片。保护罩将芯片需要保护的一面浸泡在其他液体中，使其免受湿法腐蚀的破坏。整体结构容易拆装，结构简单，使用方便，通过更换密封圈，可以实现反复使用。