专利详情

专利名称	速调管电子枪除气台
申请号	CN201510408460.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104966653A	公开（授权）日	2015.10.07
申请（专利权）人	中国科学院电子学研究所	发明（设计）人	王博锋;周冠丽;胡旭华;周健勇
主分类号	H01J9/39(2006.01)I	IPC主分类号	H01J9/39(2006.01)I;H01J23/06(2006.01)I;H01J25/10(2006.01)I
专利有效期	速调管电子枪除气台至速调管电子枪除气台	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种速调管电子枪除气台。该速调管电子枪除气台包括：台架；第一工作台和第二工作台，相互独立地设置于台架的工作台面上，用于容置待除气的速调管电子枪；真空系统，用于对两工作台抽真空；电极系统，用于为容置于两工作台内的速调管电子枪提供电流和电压；以及电气控制系统，用于对第一工作台和第二工作台内真空度进行监测，并对真空系统和电极系统进行控制。本发明中，双工位工作台能够独立或同时工作，且其中一工位放大气后，另一工位的真空度不低于6×10^-6Pa，有效缩短了电子枪的制作周期，提高了工艺效率。