专利详情

专利名称	集成微透镜阵列的背照式紫外焦平面探测器
申请号	CN201520371925.7	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204680670U	公开（授权）日	2015.09.30
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	刘向阳;王玲;张燕;刘诗嘉;许金通;李向阳
主分类号	H01L27/144(2006.01)I	IPC主分类号	H01L27/144(2006.01)I
专利有效期	集成微透镜阵列的背照式紫外焦平面探测器至集成微透镜阵列的背照式紫外焦平面探测器	法律状态
说明书摘要	本专利公开了一种集成微透镜阵列的背照式紫外焦平面探测器。背照式紫外焦平面探测器由以下几个部分组成：紫外光敏元阵列芯片、读出电路、混成互连铟柱、微透镜阵列。微透镜阵列在紫外光敏元阵列芯片的宝石片衬底上采用光刻胶光刻、高温成型、等离子体刻蚀等步骤加工形成。本专利的优点是：集成微透镜阵列之后，紫外光敏元的面积可以大幅度减少，从而使紫外光敏元具有高的零偏压动态电阻R₀和小的结电容，从而有利于减小读出电路的噪声以及提高紫外探测器的探测率。