专利详情

专利名称	用于定位DMD光刻系统中相机焦平面位置的新型分划板
申请号	CN201510316684.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104950593A	公开（授权）日	2015.09.30
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	刘华;谭向全;党博石;郑黎明;孙强;卢振武
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;G02B27/32(2006.01)I
专利有效期	用于定位DMD光刻系统中相机焦平面位置的新型分划板至用于定位DMD光刻系统中相机焦平面位置的新型分划板	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	用于定位DMD光刻系统中相机焦平面位置的新型分划板属于用于确定DMD光刻系统中相机的焦平面位置的辅助装置领域，该分划板为透明材质的平面薄板，其上端面设有反光镀膜间隔条纹，所述反光镀膜间隔条纹的宽度均相同，它们彼此平行且间距相等；反光镀膜间隔条纹的间隙部分形成透光条纹，透光条纹的宽度均相同，它们彼此平行且间距相等；所述反光镀膜间隔条纹和透光条纹均与分划板外轮廓线相交并形成界限清晰且规律断续的外轮廓线边缘。本发明为快速校准分划板的端面倾角姿态是否与光轴垂直提供参考依据，可以辅助校准分划板沿光轴方向的距离位置，具有辅助CCD调焦相机倾角姿态校准的作用。