专利详情

专利名称	电子束光刻对准标记在芯片上的布局
申请号	CN201410103327.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104932212A	公开（授权）日	2015.09.23
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	牛洁斌;刘明;陈宝钦;谢常青;龙世兵;王冠亚;张建宏;李海亮;史丽娜;朱效立
主分类号	G03F9/00(2006.01)I	IPC主分类号	G03F9/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I
专利有效期	电子束光刻对准标记在芯片上的布局至电子束光刻对准标记在芯片上的布局	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种电子束光刻对准标记在芯片上的布局，所述芯片包括第一区域和围绕所述第一区域的第二区域，所述第一区域包括所述芯片的中心，所述布局设置在所述第二区域，其包括，设置在所述第二区域的若干个对准标识符；相邻两个所述对准标识符之间设置有标识线。该布局更方便对准标记掩模板的制造，能更容易地在电子束套刻对准时寻找标记，能应用于任意大小形状的衬底，能够设置多组对准标记以满足多次电子束套刻对准曝光，而且该布局有利于提高芯片的利用率。