专利详情

专利名称	一种高频、高速、尺寸稳定的液滴阵列产生装置
申请号	CN201510395139.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104932089A	公开（授权）日	2015.09.23
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	张罗莎;王宇;吴晓斌;王魁波;罗艳;陈进新;谢婉露;丁功明
主分类号	G02B19/00(2006.01)I	IPC主分类号	G02B19/00(2006.01)I;G02B5/00(2006.01)I
专利有效期	一种高频、高速、尺寸稳定的液滴阵列产生装置至一种高频、高速、尺寸稳定的液滴阵列产生装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种液滴阵列产生装置，包括转鼓、旋转驱动机构及外壳，其中，转鼓用于接收液料，旋转驱动机构带动转鼓转动，使液料成为一系列液滴，一系列液滴经过外壳后，产生高输出频率、高初速度、尺寸稳定的微米级液滴阵列。该装置能够应用于一系列需要提供高频、高速、尺寸稳定的液滴阵列的系统中，例如在极紫外光源系统中对光源激发所产生的碎屑进行收集，降低碎屑对腔内其他系统表面的污染和损坏，并同时具有较高的碎屑收集效率及有较好的光源光谱透过率。