专利详情

专利名称	一种连接脉冲激光器与终端实验腔体的双光路装置
申请号	CN201520161342.1	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204615146U	公开（授权）日	2015.09.02
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	孔帅;吴喜波;穆克军;吴鹏;孙喆;张国斌
主分类号	H01S3/10(2006.01)I	IPC主分类号	H01S3/10(2006.01)I;H01S3/109(2006.01)I;G01N21/63(2006.01)I
专利有效期	一种连接脉冲激光器与终端实验腔体的双光路装置至一种连接脉冲激光器与终端实验腔体的双光路装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种连接脉冲激光器与终端实验腔体的双光路装置，该装置(12)连接了脉冲激光器(11)、薄膜沉积系统(13)以及真空手套箱(14)。脉冲激光器(11)型号是PRO-320?Nd:YAG，双光路装置(12)一共由七面介质膜反射镜、一面聚焦镜以及相应镜架和光路防护设备组成。两条光路分别对应波长为1064纳米、532纳米的激光，其中波长为1064纳米的不可见红外光分别经过三面反射镜和一面聚焦镜到达反应炉；可见的波长为532纳米绿光会经过四面反射镜到达薄膜沉积腔体。本实用新型克服现有技术的不足，提供一种结构简单、成本较低的双光路装置。该装置可以整合一台激光器与多个不同的实验终端，极大的提高了实验研究以及社会生产的效率。