专利详情

专利名称	一种进气混气装置
申请号	CN201520232477.2	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204589298U	公开（授权）日	2015.08.26
申请（专利权）人	中国科学院电工研究所	发明（设计）人	刁宏伟;王文静;赵雷;周春兰;王光红
主分类号	C23C16/455(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/455(2006.01)I
专利有效期	一种进气混气装置至一种进气混气装置	法律状态
说明书摘要	一种进气混气装置，由气体管道簇及直筒两部分组成，气体管道簇插入直筒内。直筒的一端为一簇气体管道，为气体流入端；直筒的另一端为一通孔，为混合气体流出端。气体管道簇中，布置于圆盘中心的一根气体管道通入大流量气体，布置于大流量气体管道周围，且与大流量气体管道等距离的小流量气体管道通入小流量气体。气体流入端与气体流量计连接，混合气体流出端与等离子电极的进气口连接。大流量气体和小流量气体经气体流入端进入直筒部分，大流量气体的流动造成直筒内漏斗形空间产生负压区间，使小流量气体管道中的小流量气体流入直筒部分的漏斗形空间，与大流量气体混合。本实用新型尤其适用于流量差大于一个量级以上的不同气体的均匀混合。