专利详情

专利名称	电感耦合等离子体喷枪及等离子体设备
申请号	CN201520328198.6	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204614759U	公开（授权）日	2015.09.02
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	邬苏东;叶继春;高平奇;杨映虎;韩灿;张胜
主分类号	H01J37/08(2006.01)I	IPC主分类号	H01J37/08(2006.01)I;H01J37/02(2006.01)I
专利有效期	电感耦合等离子体喷枪及等离子体设备至电感耦合等离子体喷枪及等离子体设备	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种电感耦合等离子体喷枪及等离子体设备，其中，电感耦合等离子体喷枪包括放电室、气体导入装置、冷却装置和电感线圈；放电室由第一空心管材围设而成，第一空心管材为氮化硅管或碳化硅管；气体导入装置与放电室连通；冷却装置包括第二空心管材、冷却剂导入组件和冷却剂导出组件，第二空心管材围设在第一空心管材的外侧，且第二空心管材的内侧壁与第一空心管材的外侧壁之间存在第一间隙，冷却剂导入组件和冷却剂导出组件均与第一间隙连通；电感线圈设置在第二空心管材的外侧。本实用新型提高了电感耦合等离子体喷枪在使用过程中的稳定性，有效避免了由于高温造成的破裂，满足了连续生产的需要，降低了安全隐患。