一种EUV反射镜清洗装置
- 申请号：CN201510229051.6
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 公开(公开)号：CN104874569A
- 公开(公开)日：2015.09.02
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种EUV反射镜清洗装置 | ||
| 申请号 | CN201510229051.6 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN104874569A | 公开（授权）日 | 2015.09.02 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 彭忠琦;卢启鹏;龚学鹏;王依;宋源 |
| 主分类号 | B08B7/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B08B7/00(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种EUV反射镜清洗装置 至一种EUV反射镜清洗装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明公开了一种EUV反射镜清洗装置，其包括H0原子发生装置（1）和真空腔室（2），在所述H0原子发生装置（1）和所述真空腔室（2）之间依次设置有相互连通的球阀（3）和导向喷射池（4）；该清洗装置相比现有的清洗装置，增设了用于H0原子浓度调节的球阀（3）和用于H0原子导向的导向喷射池（4），具有结构简单，设计合理，使用方便，H0原子喷射浓度可调，光学元件清洗效果好，清洗效率高等优点。 | ||
交易流程
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