专利详情

专利名称	一种用于不同平面样品对准的装置
申请号	CN201520095051.7	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204557050U	公开（授权）日	2015.08.12
申请（专利权）人	中国科学院上海应用物理研究所	发明（设计）人	赵俊;薛超凡;吴衍青;杨树敏;王连升;邰仁忠
主分类号	G03F9/00(2006.01)I	IPC主分类号	G03F9/00(2006.01)I
专利有效期	一种用于不同平面样品对准的装置至一种用于不同平面样品对准的装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型提供一种用于不同平面样品对准的装置，包括：竖向设置的支架；上基板和下基板，上基板和下基板在水平方向上平行布置且通过支架连接为框架结构，上基板和下基板上分别设置有上对准十字线与下对准十字线，上对准十字线与下对准十字线的中心的连线垂直于上基板和下基板，上对准十字线与下对准十字线在竖直方向上的投影完全重合；以及样品台，样品台平行于上基板设置且通过支架固定于上基板的上方，样品台的中心处具有通孔，通孔的中心处于上基板和下基板的中心连线上。本实用新型通过“三点一线”的光学原理，实现处于不同平面上的样品间的图案对准，对准精度能小于0.1毫米。