专利详情

专利名称	单脉冲激光动态焦斑位置测量装置
申请号	CN201520189970.0	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204514569U	公开（授权）日	2015.07.29
申请（专利权）人	中国科学院西安光学精密机械研究所	发明（设计）人	董晓娜;赵娟宁;袁索超
主分类号	G01M11/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/00(2006.01)I
专利有效期	单脉冲激光动态焦斑位置测量装置至单脉冲激光动态焦斑位置测量装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型涉及单脉冲激光动态焦斑位置测量装置，包括待测光学系统、取样镜、标准汇聚透镜、微透镜阵列、CCD探测器及壳体，待测光学系统提供待测光束；取样镜对待测光束进行取样，得到取样光束；标准汇聚透镜对取样光束进行汇聚处理，得到汇聚光束，传输给微透镜阵列；微透镜阵列用于将汇聚光束进行再次汇聚后成像在CCD探测器上；待取样镜、标准汇聚透镜、微透镜阵列和CCD探测器按照光路的传输方向依次封装在壳体内。本实用新型解决了现有测焦斑位置的方法存在测量范围小、稳定性不高的技术问题，整个系统测量精度和范围可调性强。