
一种测量红外焦平面模块低温形变的装置
- 申请号:CN201520167953.7
- 专利类型:实用新型
- 申请(专利权)人:中国科学院上海技术物理研究所
- 公开(公开)号:CN204514279U
- 公开(公开)日:2015.07.29
- 法律状态:
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专利详情
专利名称 | 一种测量红外焦平面模块低温形变的装置 | ||
申请号 | CN201520167953.7 | 专利类型 | 实用新型 |
公开(公告)号 | CN204514279U | 公开(授权)日 | 2015.07.29 |
申请(专利权)人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明(设计)人 | 张海燕;管建安;庄馥隆;汪洋;陈安森;龚海梅 |
主分类号 | G01B11/16(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/16(2006.01)I |
专利有效期 | 一种测量红外焦平面模块低温形变的装置 至一种测量红外焦平面模块低温形变的装置 | 法律状态 | |
说明书摘要 | 本实用新型公开了一种测量红外焦平面模块低温形变的装置,该装置包括对窗口有特殊要求的测试杜瓦和激光干涉仪。其方法是把被测样品粘贴于真空杜瓦的冷头上,以激光干涉的方式非接触的获取样品表面形变信息,该实用新型的优点在于测试过程快速,样品温度可控,克服了传统测试方法的样品温度不稳定及表面结霜等固有困难。 |
交易流程
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01
选取所需
专利 -
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确认专利
可交易 - 03 签订合同
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成功 - 06 支付尾款
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过户资料
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