专利详情

专利名称	一种大行程高速多级驱动倾斜镜
申请号	CN201510212381.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104793333A	公开（授权）日	2015.07.22
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	黄林海;陈东红;周子夜
主分类号	G02B26/08(2006.01)I	IPC主分类号	G02B26/08(2006.01)I
专利有效期	一种大行程高速多级驱动倾斜镜至一种大行程高速多级驱动倾斜镜	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种大行程高速多级驱动倾斜镜，该倾斜镜包括反射镜面，多级高速驱动器，底座。多级高速驱动器的一端与反射镜面的背面胶接，另一端与底座胶接，组合完成倾斜镜整体。其中每个多级高速驱动器均由多个高速驱动器串联组成，采用四个多级高速驱动器对称分布在底座上并支撑起反射镜面。多级驱动器分别由多路高压放大器来控制，驱动反射镜面按照目标方向产生快速偏转。大行程高速多级驱动倾斜镜将高速和大行程两种功能通过多级驱动器分开实现，可以在同一个倾斜镜上兼顾实现高速响应和大行程控制两种需求。