专利详情

专利名称	一种光腔衰荡高反射率测量的数据处理方法
申请号	CN201510198761.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104792501A	公开（授权）日	2015.07.22
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	韩艳玲;李斌成;崔浩;周胜
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	一种光腔衰荡高反射率测量的数据处理方法至一种光腔衰荡高反射率测量的数据处理方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种光腔衰荡高反射率测量的数据处理方法，其特征在于：在基于光腔衰荡法测量大口径光学元件高反射率时，分析大口径光学元件反射率均匀性测试过程中待测光学元件不同位置反射率值与相应衰荡信号幅值间的关系，通过二次多项式拟合等处理方法，利用拟合参数及衰荡信号幅值计算得到待测光学元件反射率，通过与光腔衰荡方法得到反射率结果对比，印证了该方法的有效性。同时，利用拟合参数还可计算得到激光在衰荡腔内往返一次后两透射波相位延迟δ的余弦值cosδ，该值表征了所建立的光腔衰荡高反射率测试系统光路调节状况，cosδ越接近于1说明光腔调节越好。