专利详情

专利名称	一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置
申请号	CN201420776045.3	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204474755U	公开（授权）日	2015.07.15
申请（专利权）人	重庆墨希科技有限公司;中国科学院重庆绿色智能技术研究院	发明（设计）人	钟达;史浩飞;邵丽;张鹏飞;余杰
主分类号	C23C16/26(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/26(2006.01)I;C23C16/01(2006.01)I
专利有效期	一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置至一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置，包括底板、与底板固定连接的固定柱、下夹具和上夹具，下夹具为一方形凹块，凹块两边对应设置有孔，凹块的凹陷处便于刻蚀液流入用于刻蚀催化基底，上夹具为一方形方块，方形方块与方形凹块的长宽尺寸相同，方形方块上在与方形凹块相对应的位置处设置有孔，孔可以穿过固定柱。本实用新型能够同时对多个生长有石墨烯薄膜的催化基底进行刻蚀，提高生产效率，同时工装装置具有结构简单，易于制造的优点。