专利详情

专利名称	基于石英音叉的扫描近场光学显微镜成像系统
申请号	CN201510179862.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104777331A	公开（授权）日	2015.07.15
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	杨惠霞;漆晓琼;谢亮
主分类号	G01Q60/18(2010.01)I	IPC主分类号	G01Q60/18(2010.01)I
专利有效期	基于石英音叉的扫描近场光学显微镜成像系统至基于石英音叉的扫描近场光学显微镜成像系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种基于石英音叉的扫描近场光学显微镜成像系统，该系统包括：一石英音叉；一压电陶瓷扫描台，所述石英音叉用圆头螺丝固定在压电陶瓷扫描台上；一锁相放大器，其端口1、端口2通过PCB板与石英音叉的两端相连；一光电倍增管，其输入端通过一滤光片组与收集光纤探针相连；一激光器，其输出端与一激发光纤探针相连；一控制箱，其端口与光电倍增管的输出端相连，其端口与锁相放大器的端口3相连，其端口3与压电陶瓷扫描台相连；一电脑，其输入端与控制箱的端口4相连。本发明可以提高现有的近场光学显微镜的灵敏度。