专利详情

专利名称	一种用于石墨烯生长的工艺腔
申请号	CN201520061257.8	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204434725U	公开（授权）日	2015.07.01
申请（专利权）人	重庆墨希科技有限公司;中国科学院重庆绿色智能技术研究院	发明（设计）人	于本文;史浩飞;李占成;钟达;杜春雷
主分类号	C23C16/44(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/44(2006.01)I;C23C16/26(2006.01)I
专利有效期	一种用于石墨烯生长的工艺腔至一种用于石墨烯生长的工艺腔	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种用于石墨烯生长的工艺腔，用于生产石墨烯薄膜，包括腔体，所述腔体的上端和下端的内壁上均设有一环形安装槽，每个所述环形安装槽中均设有耐高温碳碳材料圆筒。本实用新型中，由于腔体的上端和下端管壁安装了耐高温碳碳材料圆筒，碳碳材料容易吸附铜及黑色炭残留物，腔体长时间使用后铜及黑色炭残留物聚集在耐高温碳碳材料圆筒上，当腔体使用40天至50天后，拆掉耐高温碳碳材料圆筒，安装新的耐高温碳碳复合材料圆筒，工艺腔可以恢复生产，工艺腔的清洗间隔周期延长，清洗过程时间缩短。