专利详情

专利名称	一种光学元件轴向位置精密调整装置
申请号	CN201510131192.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104749734A	公开（授权）日	2015.07.01
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	陈华男;郭抗;倪明阳;李显凌;隋永新;杨怀江
主分类号	G02B7/00(2006.01)I	IPC主分类号	G02B7/00(2006.01)I
专利有效期	一种光学元件轴向位置精密调整装置至一种光学元件轴向位置精密调整装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明一种光学元件轴向位置精密调整装置，属于深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，解决了现有技术存在容易污染光学元件，稳定性不好，换向机构复杂、加工困难的技术问题；本发明包括光学元件、镜框外框和镜框内框，还包括驱动器、换向块、导向块和轴向位置传感器；所述驱动器包括驱动杆；光学元件在镜框内框上，在镜框内框与镜框外框之间圆周均布多个导向块；在镜框内框与镜框外框之间圆周均布多个换向块；每个换向块配有一个驱动器和一个轴向位置传感器；每个驱动器固定连接在镜框外框的外圆柱面上，且驱动器的驱动杆抵在换向块上，每个轴向位置传感器固定连接在镜框外框上，并与换向块错开一定角度。