专利详情

专利名称	大尺寸平面衍射光栅的复制拼接方法
申请号	CN201510190510.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104749673A	公开（授权）日	2015.07.01
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	张善文;卢禹先;齐向东;李晓天;于海利;于宏柱;巴音贺希格;唐玉国;吉日嘎兰图
主分类号	G02B5/18(2006.01)I	IPC主分类号	G02B5/18(2006.01)I
专利有效期	大尺寸平面衍射光栅的复制拼接方法至大尺寸平面衍射光栅的复制拼接方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	大尺寸平面衍射光栅的复制拼接方法，涉及衍射光栅制作技术领域，解决现有光栅拼接方法需要重复和持续采用高精度控制调整技术，对支架稳定性要求高，并且采用曝光方法时存在调整与锁定系统之间存在漂移误差等问题，利用一块光栅母版，在光栅毛坯的相邻区域分时复制两次；在光栅毛坯的左侧区域复制第一块光栅；在光栅毛坯左侧区域相邻的右侧区域复制第二块光栅；其中，拼接误差检测系统，检测第二块复制光栅和第一块复制光栅存在的拼接误差；误差检测系统检测第二块复制光栅拼接时的两维拼接误差。本发明光栅在使用过程中不需要多维机械调整架实时调整光栅姿态，具有长期保存性；拼接过程中只需要检测存在的两维拼接误差，降低检测和调整的难度。