专利详情

专利名称	微管谐振腔量子阱红外探测器
申请号	CN201510145512.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104733562A	公开（授权）日	2015.06.24
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	陆卫;王晗;甄红楼;梅永丰;黄高山;李宁;陈效双;景友亮;李梁;李梦瑶
主分类号	H01L31/101(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/101(2006.01)I;H01L31/0304(2006.01)I
专利有效期	微管谐振腔量子阱红外探测器至微管谐振腔量子阱红外探测器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种微管谐振腔量子阱红外探测器，自下而上依次包括：衬底、缓冲层、牺牲层、金属下电极、金属上电极、螺旋管状的功能薄膜层，其中，螺旋管状功能薄膜层由应力层、下电极层、腐蚀阻挡层、量子阱层、减薄层组成。本发明将量子阱内嵌在微管的管壁中，利用谐振腔的共振原理，将入射光限制在管壁中并沿其传播从而被量子阱吸收。本发明的优点：一、光耦合能力强，能够将入射光限制在管壁中形成共振增强，从而提高量子阱的吸收，改善器件灵敏度和量子效率；二、更宽的探测视角，微管的螺旋结构能够接受180o方向内入射光；三、微管的直径可调性，便于用户设计，简单的腐蚀即可获得不同直径微管以满足器件不同探测波长需求。