专利详情

专利名称	基于平面镜的高光学细分光栅干涉仪
申请号	CN201510127875.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104729402A	公开（授权）日	2015.06.24
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	卢炎聪;周常河;韦春龙;余俊杰;李树斌;李民康;李燕阳;邱巨成
主分类号	G01B9/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01B9/02(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I
专利有效期	基于平面镜的高光学细分光栅干涉仪至基于平面镜的高光学细分光栅干涉仪	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种基于平面镜的高光学细分光栅干涉仪，包括双频正交线偏振激光光源、偏振分束器、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、第一四分之一波片、第二四分之一波片、标尺光栅，数据采集和处理及控制单元，由非偏振分束器、处于正交双频线偏振光45度放置的第一检偏器及对应的第一探测器、处于正交双频线偏振光45度放置的第二检偏器及对应的第二探测器构成的双频外差干涉光电探测单元。本发明将标尺光栅设计成高密度-1级次高衍射效率反射式光栅，进而结合平面反射镜使测量光束被标尺光栅多次衍射，从而获得高光学细分倍数，这在提高光栅干涉仪分辨率以及精确度的领域具有重要的应用价值。