专利详情

专利名称	一种多自由度差分电容位移传感器标定装置
申请号	CN201520113559.5	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204404991U	公开（授权）日	2015.06.17
申请（专利权）人	中国科学院测量与地球物理研究所	发明（设计）人	胡明;钟敏;田蔚;涂海波
主分类号	G01B7/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01B7/02(2006.01)I
专利有效期	一种多自由度差分电容位移传感器标定装置至一种多自由度差分电容位移传感器标定装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种多自由度差分电容位移传感器标定装置，包括差分电容位移传感模块、激光干涉测距模块、温度控制模块和数据处理模块；所述差分电容位移传感模块包括机械敏感探头和差分电容传感电路；机械敏感探头包括动极板、多自由度微位移台、定极板和绝缘基座；激光干涉测距模块包括激光器、屏蔽框架和N个分布在平动自由度方向的干涉条纹单元；温度控制模块用来屏蔽外部环境温度扰动；干涉测距模块测量动极板相对于定极板的位移，差分电容位移传感模块输出电压信号，数据采集与处理系统对数据进行处理得到动极板平动自由度位移到差分电容位移传感模块输出电压的格值系数，从而精确评价量程在微米量级的高精度差分电容位移传感模块的分辨率水平。