专利详情

专利名称	一种真空紫外激光绝对能量测量装置
申请号	CN201310691252.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104713642A	公开（授权）日	2015.06.17
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所	发明（设计）人	汪涛;肖春雷;张未卿;吴国荣;戴东旭;杨学明
主分类号	G01J1/42(2006.01)I	IPC主分类号	G01J1/42(2006.01)I;G01J11/00(2006.01)I
专利有效期	一种真空紫外激光绝对能量测量装置至一种真空紫外激光绝对能量测量装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种能测量真空紫外激光的绝对能量数值的装置，属于光电技术领域。本发明包括密闭容器及其阀门，所述密闭容器中充有目标气体，所述阀门用于控制所述密闭容器的进气量；所述密闭容器中设有：第一杯状电极，通过皮安计连接电源正极；杯状加速电极，中间开孔，开口与所述第一杯状电极的杯口相对；屏蔽桶，接地，为圆柱状，中心轴位置开孔，且孔与所述杯状加速电极的孔相对；第二杯状电极，通过皮安计接地，杯口与所述屏蔽桶的开口相对。本发明可以实时测量真空紫外的绝对能量，是一种完全‘透明’的装置，在测量能量时不影响后端的激光使用，而且对激光的位置漂移有一定的忍耐度。