专利详情

专利名称	一种用于减缓灯窗表面污染的装置
申请号	CN201310694073.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104716012A	公开（授权）日	2015.06.17
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所	发明（设计）人	李海洋;李金旭;赵无垛;齐国臣;刘巍
主分类号	H01J49/16(2006.01)I	IPC主分类号	H01J49/16(2006.01)I;H01J49/22(2006.01)I
专利有效期	一种用于减缓灯窗表面污染的装置至一种用于减缓灯窗表面污染的装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种基于减缓灯窗表面污染的装置，包括灯窗、侧向偏转电极、推斥电极、聚焦电极，skimmer电极。其中，侧向偏转电极是由相对设置的电极A和电极B构成。在VUV灯照射下，进入电离区的样品分子被电离成正离子、负离子和电子。由于聚焦电极和推斥电极上施加有电压，在电场的作用正、负离子分别向skimmer电极和VUV灯窗运动。由于电极A和B上施加有不同的电压，进入偏转电极内部的离子会被偏转到两侧，无法轰击到灯窗表面，从而减缓灯窗表面的污染对灯窗起到了保护作用。